电子工业专用设备期刊年发文量：:2016年229篇，2017年127篇，2018年137篇，2019年118篇，2020年112篇，2021年100篇，2022年91篇，2023年97篇，2024年90篇，2025年86篇

期刊历年基金文献和总文献占比：2016年3.06%，2017年7.09%，2018年1.46%，2019年6.78%，2020年4.46%，2021年1.0%，2022年5.49%，2023年4.12%，2024年11.11%，2025年11.63%

文献所在栏目：半导体制造工艺与设备电子专用设备研究先进封装技术与设备材料制造工艺与设备行业快讯_业界要闻趋势与展望测试测量技术与设备企业之窗_公司与新品介绍测试·测量技术与设备先进光刻技术与设备测试与测量IC制造工艺与设备光伏制造工艺与设备其它企业之窗新技术与新工艺电子专用设备研制先进封测技术与设备行业快讯专用设备维护与保养

杂志文献学科分布：无线电电子学, 工业经济, 自动化技术, 电力工业, 计算机软件及计算机应用, 电信技术, 机械工业, 金属学及金属工艺, 无机化工, 物理学, 工业通用技术及设备, 有机化工, 仪器仪表工业, 材料科学, 计算机硬件技术, 企业经济, 汽车工业, 化学, 贸易经济, 轻工业手工业

杂志关键词分布：碳化硅,光刻机,有限元分析,化学机械抛光,离子注入机,半导体设备,半导体,集成电路,均匀性,晶圆,控制系统,多线切割,机械手,太阳能电池,磁控溅射,温度控制,机器视觉,结构优化,运动控制,硅片

电子工业专用设备杂志影响因子走势：0.13,0.12,0.15,0.11,0.09,0.09,0.1,0.23,0.22,0.3,